透過型電子顕微鏡(日立 H-7500)
[用途の概要]
切片、薄膜の透過像観察用の高分解能透過型電子顕微鏡です。初心者にも簡単に観察することができます。撮影は基本的にパソコンでの取り込みです。フィルムの供給は在庫限り、現像液などは持ち込みでお願いします。
[仕様]
分解能:0.204nm
加速電圧:40〜120KV
倍率:700〜200,000倍(ZOOM-HC)、50〜1,00倍(Low-MAG)
試料:サイドエントリー方式
電子線源:タングステンヘアピン型
CCDカメラ:
AMT社製高感度システム 1,024 x 1,024 画素
[注意事項]
- 操作の指導などが必要な場合は、担当者までご連絡下さい。
- 試料交換の際の試料ホルダーの出し入れは水平に行って下さい。
- 試料ホルダーの先端部には絶対に手を触れないで下さい。又、先端部をぶつけないで下さい。
- 試料ホルダーを試料ステージにセットする前に必ず試料ホルダーの周りにゴミ、埃等の付着物が無いか確認してください。
- 撮影データの取り出しはUSBフラッシュメモリで行って下さい。
[設置年度]
1998年度
走査型電子顕微鏡 (日本電子 JSM-6510)
[用途の概要]
モニタを良く見てそれらしいところをクリックしていくだけで、びっくりするほど簡単に使える小型走査電顕です。CCDカメラでステージの写真を撮りモニタ上でナビゲーションできますから、慣れない人でもどこを見てるか一目瞭然ですね。
[仕様]
分解能:3nm (30KV)〜15nm (1KV)
倍率:x5〜x300,000
加速電圧:0.5〜30KV
低真空モード:10Pa〜270Pa
[注意事項]
- 試料交換の際は試料室汚染防止にご注意ください。
- 操作の指導などが必要な場合は、担当者までご連絡下さい。
- 撮影データの取り出しはUSBフラッシュメモリで行って下さい。
[設置年度]
2009年度
真空蒸着機 (日立 HUS-5GB)
[用途の概要]
電子顕微鏡の試料作製のための切片、薄膜のカーボン補強、金属薄膜の作製及びシャドウイング等々、汎用に使える最も基本的な真空蒸着機です。
[仕様]
到達真空度:7.5x10-8Pa
蒸着用電源:100V、30A
電極数:内部2組
[注意事項]
- 全手動型です。様子を見ながらゆっくりバルブ操作をしないと破綻します。
超ミクロトーム (Leica EM UC7)
[用途の概要]
透過電子顕微鏡の試料作製機器で、樹脂包埋した試料を超薄切するのに用います。
[仕様]
試料送り量:5nm〜15µm
切削速度:0.05〜100mm/s
切削範囲:0.1〜14mm
[利用方法]
- 試料ホルダーの押さえネジを締め過ぎないようにして下さい。ネジ山がつぶれる恐れがあります。
- 使用後はミクロトームや機器の周りをきれいにして下さい。
その他の機器
- 臨界点乾燥機
- スパッタコーター
- ガラスナイフメーカー
- 写真引き延ばし機
- 他多数